❋ 4.4

В России появится первое производство сверхчистого гексафторида вольфрама

Предприятие «НИИ НПО «ЛУЧ», которое входит в научное подразделение «Росатома», совместно с российскими учеными и промышленными компаниями разработало технологию и оборудование для выпуска особо чистого гексафторида вольфрама. Новое производство поможет России отказаться от импорта этого важного вещества, которое сейчас полностью завозится из-за рубежа.

Гексафторид вольфрама широко применяют в микроэлектронике — например, для нанесения тонких вольфрамовых слоев при производстве микросхем. Такие покрытия устойчивы к высоким температурам и коррозии, а еще обладают высокой электропроводностью. Кроме того, гексафторид вольфрама используется для создания сверхчистого вольфрама и защитных покрытий с помощью специальных газовых методов.

Сейчас идет проектирование первого в стране участка, где будет налажен полный цикл изготовления гексафторида вольфрама — от синтеза до контроля качества.

Генеральный директор АО «НИИ НПО «Луч» Павел Карболин: «Создание отечественного производства особо чистого гексафторида вольфрама невозможно без разработки технологии полного цикла получения данного соединения, отвечающего современным требованиям охраны труда и экологической безопасности. В результате совместной работы со специалистами Нижегородского государственного университета имени Н. И. Лобачевского, компании ООО «Ферри Ватт», Института химии высокочистых веществ имени Г. Г. Девятых Российской академии наук, Томского государственного университета удалось создать уникальное оборудование для оснащения нового производства. Изготовлены лабораторная и опытная установки сорбционной очистки гексафторида вольфрама, опытная установка ректификационной очистки».

По словам Павла Карболина, сегодня уже завершены разработка и аттестация методик измерений газовых и металлических примесей в особо чистом гексафториде вольфрама. Новый проект укрепит технологическую независимость России в области передовых материалов.